半導体関連分野における事業化案件について

　県では、今後の成長が期待される半導体関連分野において、県内企業による研究開発・事業化を促進し、関連産業の育成・集積を図ることとしています。

　このたび、東亜電子機材株式会社（光市）が、県産業技術センターの技術支援の下、県の補助金を活用して、半導体デバイス等の製造プロセスで使用される、電子顕微鏡装置の汚染に対応した「プラズマクリーナー」を開発・事業化しましたのでお知らせします。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　記

1　電子顕微鏡装置向けのプラズマクリーナーについて

■開発の概要

○半導体デバイスの配線の微細化に伴い、微細な配線寸法を高精度で測定することが可能な電子顕微鏡装置が活用されていますが、観察室内に付着した残留物質が原因で、被測定物の解像度が低下するという課題があります。

○この課題を解決するため、東亜電子機材株式会社が、電子顕微鏡装置の観察室内に残留した汚染物質を、簡単な操作で安定的に除去できる「プラズマクリーナー」を開発・事業化しました。

■開発した装置の特徴等

○特許を取得したガス流量調整パイプとプラズマ着火方法を優位技術として、観察室内壁及び装置内部品の表面に対し、安定したクリーニングを実施可能

○変動しないプラズマプロセスと容易なプラズマ着火方法により、ワンボタン操作でクリーニングの全工程が遂行可能

○独自の技術で、高性能かつ比較的安価なクリーナーを提供可能

2　支援内容

○令和6年度やまぐち産業イノベーション促進補助金（半導体・蓄電池関連分野）や技術指導等による、研究開発段階から事業化までの伴走支援〔県・県産業技術センター〕

○やまぐち知的財産活用支援助成金による優位技術の権利化支援、国際展示会「Semicon Japan」への出展による販路拡大支援〔県・やまぐち産業振興財団〕

3　事業化の状況について

○大手半導体製造装置メーカーや大手総合化学メーカー等から受注に向けた見積依頼がある状況

4　開発関係企業等の概要