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国の競争的資金の採択結果について［令和2年度戦略的基盤技術高度化支援事業（通称：サポイン）］
標記の競争的資金（経済産業省所管）について、この度、県産業技術センターの支援により、県内企業が提案した技術開発が採択されましたので、下記のとおりお知らせします。
記
1 採択事業
| 計画名 | 期間 | ◎：事業管理機関 ○：主たる研究等実施機関 |
|---|---|---|
| 独自のシリコン単結晶接合技術による半導体ドライエッチング 装置用大型シリコン電極の低コスト製造技術の研究開発 |
令和2年度 ～令和4年度 |
◎：県産業技術センター ○：日本新工芯技(株) （光市） |
【内容】
スマートフォンの高機能化及び出荷増により、使用される半導体メモリ(NANDフラッシュ)を加工するドライエッチング装置の需要が高まっている。併せて、半導体メモリの高性能化に伴い、当該装置の主要部品であるシリコン電極の大型化が課題となっている。本事業では、独自のシリコン単結晶接合技術を用いて、従来と比べ大幅なコスト低減が可能な大型シリコン電極の開発に取り組む。
《本年度の全国の採択状況》
採択：102件（提案：326件、倍率3．2倍）
《本県の過去5年の採択状況》
Ｈ28：1件、Ｈ29：1件、Ｒ元：1件
【参考】 戦略的基盤技術高度化支援事業（通称：サポイン）の概要
○ 対象
「中小企業のものづくり基盤技術の高度化に関する法律」に基づき経済産業大臣が定める「特定ものづくり基盤技術高度化指針」に記載された内容に関する研究開発等を国が補助
○ 事業期間
2年又は3年（年度単位）
○ 補助金額
単年4，500万円以下
2年の合計で、7，500万円以下
3年の合計で、9，750万円以下
○ 補助率
大学・公設試等 定額
上記以外 2／3以内
お問い合わせ先
新産業振興課技術革新支援班
Tel：083-933-3143
Fax：083-933-3159
Mail：a16900@pref.yamaguchi.lg.jp
